机读格式显示(MARC)

• 000 01501nam 2200385 450

• 001 0000250721

• 005 20180404080845.0

• 010 __ |a 978-7-5641-4053-3 |d CNY198.00

• 100 __ |a 20140715d2014 em y0chiy50 ea

• 101 1_ |a chi |c eng

• 102 __ |a CN |b 320000

• 105 __ |a ak a 000yy

• 106 __ |a r

• 200 1_ |a MEMS材料与工艺手册 |A MEMS cai liao yu gong yi shou ce |f (美) 利萨·格迪斯, 林斌彦著 |d = MEMS materials and processes handbook |f Reza Ghodssi, Pinyen Lin |g 黄庆安等译 |z eng

• 210 __ |a 南京 |c 东南大学出版社 |d 2014

• 215 __ |a 14, 966页 |c 图 |d 24cm

• 225 2_ |a 微纳系统系列译丛 |A wei na xi tong xi lie yi cong

• 305 __ |a 据Springer US 2011年英文版译出

• 314 __ |a 编目员自拟责任者汉译姓: 格迪斯

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a 微机电系统（MEMS）技术是一个快速发展的前沿技术领域，使用的材料种类多、工艺方法复杂，需要系统地归纳、分析与整理，以便于读者查阅。本书内容包括MEMS材料，MEMS加工工艺和制造工艺等。

• 410 _0 |1 2001 |a 微纳系统系列译丛

• 500 10 |a MEMS materials and processes handbook |m Chinese

• 606 0_ |a 微电子技术 |A wei dian zi ji shu |x 电子材料

• 606 0_ |a 微电子技术 |A wei dian zi ji shu |x 生产工艺

• 690 __ |a TN4 |v 5

• 701 _1 |a 格迪斯 |A ge di si |g (Ghodssi, Reza) |4 著

• 701 _0 |a 林斌彦 |A lin bin yan |g (Lin, Pinyen) |4 著

• 702 _0 |a 黄庆安 |A huang qing an |4 译

• 801 _0 |a CN |b HD |c 20140705

• 801 _2 |a CN |b LIY |c 20180404

• 905 __ |a SYXY |d TN4/68

• 907 __ |a SYXY |y 2016 |h |d TN4 |r CNY198.00 |e 68

• 908 __ |a 0101217715

• 908 __ |a 0000250721