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• 200 1_ |a 微系统光学检测技术 |b 专著 |f (德)Wolfgang Osten主编 |g 王伯雄等译

• 210 __ |a 北京 |c 机械工业出版社 |d 2014

• 215 __ |a 442页 |d 24cm

• 225 2_ |a 国际制造业先进技术译丛

• 312 __ |a 英文封面题名：Optical inspection of microsystems

• 606 0_ |a 微电子技术 |x 光学测量

• 690 __ |a TB96 |v 5

• 801 _2 |a CN |b LIY |c 20141205

• 905 __ |a SYXY |d TB96/6

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