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• 010 __ |a 978-7-118-10887-3 |d CNY128.00

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• 200 1_ |a 惯性MEMS器件原理与实践 |A guan xing MEMS qi jian yuan li yu shi jian |f (德) 沃克尔·肯普著 |d = Inertial MEMS principles and practice |f Volker Kempe |g 张新国等译 |z eng

• 210 __ |a 北京 |c 国防工业出版社 |d 2016

• 215 __ |a 12, 410页 |d 24cm

• 300 __ |a 装备科技译著出版基金

• 306 __ |a 由Cambridge University Press授权国防工业出版社

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a 本书共分9个章节。其中6个章节(包括引言)用于讲述MEMS相关技术的理论基础。第一章讲述了惯性MEMS中最重要的传感器-加速度计和陀螺仪的相关背景知识；第二章讲述了诸如弹性力和阻尼力等非惯性力的理论知识，这些在设计惯性MEMS传感器时非常重要；第三、四章描述了主要MEMS工艺的制作技术；第五章讲述MEMS封装技术；第六章讲述MEMS接口电路技术。前六章内容不仅适合惯性MEMS行业的技术人员，而且对其他想对MEMS有总体了解的人员也有很大的吸引力。第七、八章为核心内容，讲述惯性MEMS传感器-加速度计和陀螺仪。这里重点讲述基本理论、动态特性分析及数学模型建立的方法，并系统讲述了惯性MEMS传感器的不同设计方法和结构方案，以及各自的优缺点。最后，对测试和校准用独立的章节进行了简要介绍。

• 500 10 |a Inertial MEMS principles and practice |m Chinese

• 606 0_ |a 微电子技术 |A wei dian zi ji shu |x 传感器

• 690 __ |a TP212 |v 5

• 701 _1 |a 肯普 |A ken pu |g (Kempe, Volker) |4 著

• 702 _0 |a 张新国 |A zhang xin guo |4 译

• 801 _0 |a CN |b HD |c 20160728

• 801 _2 |a CN |b LIY |c 20180117

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• 905 __ |a SYXY |d TP212/78

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