机读格式显示(MARC)

• 000 01133nam0 22002891 450

• 001 0000203693

• 005 20121017150340.0

• 010 __ |a 978-7-03-034316-1 |d CNY80.00

• 100 __ |a 20120716d2012 em y0chiy0110 ea

• 101 0_ |a chi

• 102 __ |a CN |b 110000

• 105 __ |a a z 000yy

• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 动态微机电系统 |A dong tai wei ji dian xi tong |e 理论与应用 |f 何广平[等]编著

• 210 __ |a 北京 |c 科学出版社 |d 2012

• 215 __ |a 384页 |c 图 |d 24cm

• 304 __ |a 编著还有：赵明、赵全亮、刘峰斌

• 330 __ |a 本书以动态微机电系统(MEMS)主要对象，介绍其相关的功能材料、设计方法、制造工艺以及控制方法。内容包括：动态MEMS主要技术领域的简况；动态MEMS中常用的功能材料及其制备方法；动态MEMS器件的主要设计方法及其发展现状；动态MEMS的制造工艺、常见失效模式及其克服方法；动态MEMS的控制理论基础、控制技术及其发展现状、控制实验方法等方面的论述；典型动态MEMS系统剖析。

• 606 0_ |a 动态 |x 微电子技术

• 690 __ |a TN4 |v 4

• 701 _0 |a 何广平 |c (物理学) |4 编著

• 801 _0 |a CN |b HNXH |c 20121008

• 801 _2 |a CN |b LIY |c 20121017

• 905 __ |a SYXY |d TN4/55

• 907 __ |a SYXY |d TN4 |r CNY80.00 |y 2012 |e 55

• 908 __ |a 0101175045

• 908 __ |a 0000203693