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- 000 00995nam0 2200253 450
- 010 __ |a 7-118-00496-0 |b 精装 |d CNY55.10
- 100 __ |a 20021005d1992 em y0chiy50 ea
- 200 1_ |a 电子工业生产技术手册 |A dian zi gong ye sheng chan ji shu shou ce |h 8 |i 半导体与集成电路卷 |b 专著 |f 《电子工业生产技术手册》编委会编
- 210 __ |a 北京 |c 国防工业出版社 |d 1992
- 330 __ |a 本书共16章。阐述了化合物半导体器件及集成电路的清洗与腐蚀、外延、离子注入通用工艺,同时介绍了包括微波及毫米波二端器件、场效应器件的设计与制造与可靠性,及新器件和集成技术。
- 606 0_ |a 电子工业 |A Dian Zi Gong Ye |x 生产 |x 技术手册
- 606 0_ |a 半导体器件 |A Ban Dao Ti Qi Jian |x 生产 |x 技术手册
- 606 0_ |a 集成电路 |A Ji Cheng Dian Lu |x 生产 |x 技术手册
- 711 02 |a 本书编委会 |A ben shu bian wei hui |4 编
- 801 _0 |a CN |b NLC |c 19800101
- 905 __ |a SYXY |d TN-62/33