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• 010 __ |a 978-7-111-26733-1 |b 精装 |d CNY108.00

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• 101 1_ |a chi |c eng

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• 105 __ |a a z 000yy

• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 微机电系统应用 |9 wei ji dian xi tong ying yong |d MEMS applications |f (美)Mohamed Gad-el-Hak编 |g 张海霞，赵小林，金玉丰等译 |z eng

• 210 __ |a 北京 |c 机械工业出版社 |d 2009

• 215 __ |a 467页 |c 图 |d 26cm

• 225 2_ |a 国际制造业先进技术译丛

• 305 __ |a 据原书第2版译出

• 330 __ |a 本书内容包括：惯性传感器、微机械压力传感器、表面微加工器件、微执行器、湍流传感器与执行器、微机器人技术、微型真空泵、非线性动电器件、微液滴发生器等。

• 461 _0 |1 001003508483 |1 2001 |a 国际制造业先进技术译丛

• 510 1_ |a MEMS applications |z eng

• 606 0_ |a 微电子技术

• 690 __ |a TN4 |v 4

• 701 _0 |c (美) |a 贾德勒哈克 |9 jia de le ha ke |c (Gad-el-Hak, Mohamed) |4 编

• 702 _0 |a 张海霞 |9 zhang hai xia |c (女) |4 译

• 702 _0 |a 赵小林 |9 zhao xiao lin |f (1953~) |4 译

• 702 _0 |a 金玉丰 |9 jin yu feng |f (1961~) |4 译

• 801 _0 |a CN |b NLC |c 20090824

• 801 _2 |a CN |b LIY |c 20101119

• 905 __ |a SYXY |d TN4/51

• 907 __ |d TN4 |a SYXY |y 2010 |h |f g215 |r CNY108.00 |e 51

• 908 __ |a 0101165068

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