机读格式显示(MARC)

• 000 01247nam0 2200313 450

• 001 0000220705

• 005 20150116083327.0

• 010 __ |a 978-7-121-23712-6 |d CNY39.80

• 100 __ |a 20140814d2014 em y0chiy50 ea

• 101 0_ |a chi

• 102 __ |a CN |b 110000

• 105 __ |a a z 000yy

• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 基于机械-化学方法的微纳制造技术 |b 专著 |f 史立秋著 |9 ji yu ji xie - hua xue fang fa de wei na zhi zao ji shu

• 210 __ |a 北京 |c 电子工业出版社 |d 2014

• 215 __ |a 93页 |c 图 |d 24cm

• 300 __ |a 国家自然科学基金资助出版 2014年度黑龙江省高校新世纪优秀人才支持计划 国家自然科学基金资助项目

• 330 __ |a 本书针对“如何方便、可控地在单晶硅表面设计和构筑具有特定功能和特性的跨尺度微/纳复合结构”，提出了“基于机械-化学方法的硅表面功能性微纳结构制造新方法”这一前沿性课题。全书共6章，叙述了应用机械-化学方法在硅表面制造功能性微纳结构的全过程及其表征与分析，并对后期的应用进行了系统的研究。

• 606 0_ |a 半导体材料 |x 纳米材料 |x 硅 |x 生产工艺

• 606 0_ |a 半导体材料

• 606 0_ |a 纳米材料

• 606 0_ |a 硅

• 690 __ |a TN304.1 |v 5

• 701 _0 |a 史立秋 |c (女， |f 1978~) |4 著 |9 shi li qiu

• 801 _2 |a CN |b LIY |c 20150116

• 905 __ |a SYXY |d TN304.1/9

• 907 __ |a SYXY |y 2014 |h |d TN304.1 |r CNY39.80 |e 9

• 908 __ |a 0101187228

• 908 __ |a 0000220705