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• 200 1_ |a 半导体器件工艺原理 |9 Ban Dao Ti Qi Jian Gong Yi Yuan Li |f 厦门大学物理系半导体物理教研室编

• 210 __ |a 北京 |c 人民教育出版社 |d 1977

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• 225 2_ |a 高等学校教学参考书

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• 606 0_ |a 半导体工艺 |x 高等院校 |x 教学参考资料

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• 701 _0 |a 厦门大学物理系半导体物理教研室 |9 Xia Men Da Xue Wu Li Xi Ban Dao Ti Wu Li Jiao Yan Shi |4 编

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