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• 200 1_ |a 纳米集成电路制造工艺 |b 专著 |d Nanoscale integrated circuits - the manufacturing process |f 张汝京等编著 |z eng |9 na mi ji cheng dian lu zhi zao gong yi

• 210 __ |a 北京 |c 清华大学出版社 |d 2014

• 215 __ |a 433页 |c 图 |d 26cm

• 330 __ |a 本书共分19章，涵盖先进集成电路工艺的发展史，集成电路制造流程、介电薄膜、金属化、光刻、刻蚀、表面清洁与湿法刻蚀、掺杂、化学机械平坦化，器件参数与工艺相关性等项目和课题。

• 510 1_ |a Nanoscale integrated circuits - the manufacturing process |z eng

• 606 0_ |a 纳米材料 |x 集成电路工艺

• 606 0_ |a 纳米材料

• 606 0_ |a 集成电路工艺

• 690 __ |a TN405 |v 5

• 701 _0 |a 张汝京 |4 编著 |9 zhang ru jing

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• 905 __ |a SYXY |d TN405/2

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