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• 010 __ |a 978-7-111-28597-7 |b 精装 |d CNY63.00

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• 101 1_ |a chi |c eng

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• 200 1_ |a 微机电系统设计与加工 |9 wei ji dian xi tong she ji yu jia gong |d MEMS design and fabrication |f (美)Mohamed Gad-el-Hak编 |g 张海霞，赵小林译 |z eng

• 210 __ |a 北京 |c 机械工业出版社 |d 2010

• 215 __ |a 536页 |c 图 |d 27cm

• 225 2_ |a 国际机械工程先进技术译丛

• 330 __ |a 本书内容包括：MEMS中的材料、MEMS制造、LIGA及其微模压、基于X射线的加工、EFAB技术及其应用、用于碳化硅体微加工的等离子体反应深刻蚀、聚合物微系统：材料和加工、光诊断方法考察微流道的入口长度、应用于航空航天的微化学传感器等。

• 461 _0 |1 001003508483 |1 2001 |a 国际机械工程先进技术译丛

• 510 1_ |a MEMS design and fabrication |z eng

• 606 0_ |a 微电子技术

• 690 __ |a TN4 |v 4

• 701 _0 |c (美) |a 贾德勒哈克 |9 jia de le ha ke |c (Gad-el-Hak, Mohamed) |4 编

• 702 _0 |a 张海霞 |9 zhang hai xia |c (女) |4 译

• 702 _0 |a 赵小林 |9 zhao xiao lin |f (1953~) |4 译

• 801 _0 |a CN |b NLC |c 20100623

• 801 _2 |a CN |b LIY |c 20101122

• 905 __ |a SYXY |d TN4/52

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