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• 010 __ |a 978-7-03-039281-7 |d CNY88.00

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• 200 1_ |a 衬底基片超精密加工技术 |A chen di ji pian chao jing mi jia gong ji shu |f 周海编著

• 210 __ |a 北京 |c 科学出版社 |d 2014

• 215 __ |a 175页 |c 图 |d 24cm

• 300 __ |a 江苏省自然科学基金项目资助 江苏省“六大人才高峰”项目资助 盐城工学院学术专著出版基金资助

• 320 __ |a 有书目 (第167-175页)

• 330 __ |a 本书详细介绍了蓝宝石衬底基片从晶体生长到可用于外延生长的衬底基片的工艺全过程。本书不仅阐述了蓝宝石衬底基片的超精密加工基本原理，而且结合具体加工设备，分析了蓝宝石衬底基片超精密加工工艺参数，同时介绍了国内外最新的发展和成就。

• 606 0_ |a 发光二极管 |A fa guang er ji guan |x 生产工艺

• 690 __ |a TN383.05 |v 5

• 701 _0 |a 周海 |A zhou hai |4 编著

• 801 _0 |a CN |b HD |c 20150129

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• 905 __ |a SYXY |d TN383.05/1

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