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• 010 __ |a 978-7-03-075719-7 |b 精装 |d CNY298.00

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• 200 1_ |a MEMS/NEMS谐振器技术 |A Mems/nems Xie Zhen Qi Ji Shu |9 MEMS/NEMS xie zhen qi ji shu |f 张文明，胡开明著

• 210 __ |a 北京 |c 科学出版社 |d 2023

• 215 __ |a 475页 |c 图 |d 24cm

• 330 __ |a 本书共9章，内容包括：绪论、谐振原理与结构设计、谐振器件材料与加工工艺、非线性现象与动力学效应、能量耗散机理与阻尼技术、振动激励与检测原理及技术、通道式MEMS/NEMS谐振器动力学设计与检测技术、弱耦合谐振器设计及传感技术、失效分析与可靠性技术。

• 606 0_ |a 微机电系统 |A Wei Ji Dian Xi Tong |x 谐振器

• 690 __ |a TN629.1 |v 5

• 701 _0 |a 张文明 |A Zhang Wen Ming |9 zhang wen ming |4 著

• 701 _0 |a 胡开明 |A Hu Kai Ming |9 hu kai ming |4 著

• 801 _0 |a CN |b 知新文化 |c 20241016

• 905 __ |a SYXY |d TN629.1/3