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• 010 __ |a 978-7-121-31227-4 |d CNY69.00

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• 200 1_ |a 集束型晶圆制造装备调度及其优化算法 |A ji shu xing jing yuan zhi zao zhuang bei tiao du ji qi you hua suan fa |f 李林瑛, 卢睿著

• 210 __ |a 北京 |c 电子工业出版社 |d 2017

• 215 __ |a 328页 |c 图 |d 26cm

• 300 __ |a 辽宁省高等学校优秀人才支持计划, 辽宁省教育厅科学研究一般项目, 大连外国语大学科研基金项目对本书支持

• 312 __ |a 并列正题名取自于封面

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a 本书以集束型晶圆制造装备为研究对象，在全面分析其调度特点及调度方法的基础上，分析集束型装备各类调度问题，运用优化调度方法设计了相应的求解方案。本书提出的方法和技术将为广大企业、科研院所、高等院校进一步深入研究集束型晶圆制造装备调度问题提供理论基础，为推动集束型晶圆制造装备调度技术发展和企业实际应用提供参考，对提升我国晶圆制造企业的核心技术竞争力及行业综合实力具有重要意义。

• 510 1_ |a Scheduling and optimation algorithm for cluster tools of wafer fabrication |z eng

• 606 0_ |a 半导体工艺设备 |A ban dao ti gong yi she bei |x 调度

• 606 0_ |a 半导体工艺设备 |A ban dao ti gong yi she bei |x 最优化算法

• 690 __ |a TN305 |v 5

• 701 _0 |a 李林瑛 |A li lin ying |4 睿著

• 701 _0 |a 卢睿 |A lu rui |4 著

• 801 _0 |a CN |b HD |c 20170412

• 801 _2 |a CN |b LIY |c 20171222

• 801 _2 |a CN |b LIY |c 20180327

• 905 __ |a SYXY |d TN305/9

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