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• 010 __ |a 978-7-03-048375-1 |d CNY98.00

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• 200 1_ |a 原子层沉积技术 |A Yuan Zi Ceng Chen Ji Ji Shu |e 原理及其应用 |f 李爱东编著

• 210 __ |a 北京 |c 科学出版社 |d 2016

• 215 __ |a 381页 |c 图 |d 24cm

• 225 2_ |a 南京大学材料科学与工程系列丛书 |A Nan Jing Da Xue Cai Liao Ke Xue Yu Gong Cheng Xi Lie Cong Shu

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a 本书是面向研究生和从事材料研发等相关行业的科研人员系统介绍原子层沉积技术原理及其应用的一本专业书籍，共13章。包括原子层沉积的发展历史、原理、前驱体、沉积材料及其理论计算与模拟等基础内容，又着重论述等离子体增强原子层沉积和分子层沉积技术等。

• 410 _0 |1 2001 |a 南京大学材料科学与工程系列丛书

• 606 0_ |a 原子 |A Yuan Zi |x 沉积 |x 技术 |x 高等学校 |j 教材

• 690 __ |a TB3 |v 5

• 701 _0 |a 李爱东 |A Li Ai Dong |4 编著

• 801 _0 |a CN |b HD |c 20160714

• 801 _2 |a CN |b LIY |c 20180110

• 801 _2 |a CN |b LIY |c 20180404

• 905 __ |a SYXY |d TB3/112

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