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中文图书1.MEMS/NEMS谐振器技术 TN629.1/3
馆藏复本:3
可借复本:3 张文明,胡开明著
科学出版社 2023
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中文图书2.微机电系统(MEMS):元器件、电路及系统集成技术和应用 TH-39/88
馆藏复本:3
可借复本:3 (美)维卡斯·乔杜里(Vikas Choudhary),(加)克日什托夫·印纽斯基(Krzysztof Iniewski)主编
机械工业出版社 2020
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中文图书3.微机电系统应用 TN4/51
馆藏复本:2
可借复本:1 (美)Mohamed Gad-el-Hak编
机械工业出版社 2009
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中文图书4.MEMS集成设计技术及应用 TN4/67
馆藏复本:3
可借复本:3 苑伟政, 谢建兵, 焦文龙著
国防工业出版社 2014
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中文图书5.微机电系统设计与加工 TN4/52
馆藏复本:2
可借复本:1 (美)Mohamed Gad-el-Hak编
机械工业出版社 2010
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中文图书6.微机电系统基础 TN4/58
馆藏复本:3
可借复本:3 (美) 盖德主编
机械工业出版社 2017
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中文图书7.MEMS多晶圆旋转机械:涡轮机, 发电机和发动机:turbines、generator and engines TM38/8
馆藏复本:5
可借复本:5 (美) Jeffrey H. Lang著
国防工业出版社 2016
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中文图书8.MEMS材料与工艺手册 TN4/68
馆藏复本:3
可借复本:3 (美) 利萨·格迪斯, 林斌彦著
东南大学出版社 2014
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