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中文图书1.MEMS/NEMS谐振器技术 TN629.1/3
馆藏复本:3
可借复本:3 张文明,胡开明著
科学出版社 2023
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中文图书2.微机电系统(MEMS):元器件、电路及系统集成技术和应用 TH-39/88
馆藏复本:3
可借复本:3 (美)维卡斯·乔杜里(Vikas Choudhary),(加)克日什托夫·印纽斯基(Krzysztof Iniewski)主编
机械工业出版社 2020
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