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中文图书1.半导体制造过程的批间控制和性能监控 TN305/17
馆藏复本:3
可借复本:3 郑英,王妍,凌丹著
科学出版社 2023
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中文图书2.光刻 TN305.7/3
馆藏复本:1
可借复本:1 上海无线电十七厂编
上海人民出版社 1971
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中文图书3.硅片加工工艺学 TN305/16
馆藏复本:3
可借复本:3 高融,苏明哲译
上海科学技术文献出版社 1985
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中文图书4.硅材料质量与硅器件工艺 TN342/14
馆藏复本:1
可借复本:1 夏锦禄等编
上海科学技术文献出版社 1979
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中文图书5.半导体制造工艺基础 TN305/15
馆藏复本:1
可借复本:1 (美)施敏,(美)梅凯瑞著
安徽大学出版社 2007
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中文图书6.半导体器件工艺原理 TN305/1YZ
馆藏复本:4
可借复本:4 厦门大学物理系半导体物理教研室编
人民教育出版社 1977
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中文图书7.芯片用硅晶片的加工技术 TN305/13
馆藏复本:3
可借复本:1 张厥宗编著
化学工业出版社 2021.5
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中文图书8.半导体制造系统智能调度 TN305/8
馆藏复本:3
可借复本:3 吴启迪[等]著
清华大学出版社 2015.04
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中文图书9.晶圆制造自动化物料运输系统调度 TN305/10
馆藏复本:3
可借复本:3 张洁, 秦威, 吴立辉著
华中科技大学出版社 2015
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中文图书10.芯片制造:半导体工艺制程实用教程:a practical guide to semiconductor processing.3版 TN430.5/1
馆藏复本:3
可借复本:3 (美)Peter Van Zant著
电子工业出版社 2015
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中文图书11.集束型晶圆制造装备调度及其优化算法 TN305/9
馆藏复本:5
可借复本:5 李林瑛, 卢睿著
电子工业出版社 2017
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