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中文图书1.计算光刻与版图优化 TN405.98/2
馆藏复本:3
可借复本:3 韦亚一 ... [等] 著
电子工业出版社 2021.01
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中文图书2.等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用 TN405.98/1
馆藏复本:3
可借复本:3 张海洋等编著
清华大学出版社 2018
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中文图书3.集成电路制造工艺技术体系 TN405/4
馆藏复本:5
可借复本:5 严利人, 周卫著
科学出版社 2017
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中文图书4.纳米集成电路制造工艺 TN405/2
馆藏复本:4
可借复本:3 张汝京等编著
清华大学出版社 2014
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中文图书5.纳米集成电路制造工艺.第2版 TN405/6
馆藏复本:3
可借复本:3 张汝京等编著
清华大学出版社 2017
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中文图书6.集成电路制造技术 TN405/3
馆藏复本:3
可借复本:3 杜中一著
化学工业出版社 2016
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