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中文图书1.芯片制造:半导体工艺制程实用教程:a practical guide to semiconductor processing.3版 TN430.5/1
馆藏复本：3
可借复本：3 (美)Peter Van Zant著
电子工业出版社 2015
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中文图书2.产业专利分析报告.第50册,芯片先进制造工艺 G306.71/1
馆藏复本：3
可借复本：3 张茂于主编
知识产权出版社 2017
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