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中文图书1.硅材料制备 TN304.105/1
馆藏复本：1
可借复本：1 《半导体器件制造技术丛书》编写组编
国防工业出版社 1972
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中文图书2.硅平面器件工艺基础 TN305-51/1
馆藏复本：10
可借复本：10 半导体器件制造技术丛书编写组编著
国防工业出版社 1971
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