MARC状态：已编 文献类型：中文图书 浏览次数：2
- 题名/责任者:
- 动态微机电系统:理论与应用/何广平[等]编著
- 出版发行项:
- 北京:科学出版社,2012
- ISBN及定价:
- 978-7-03-034316-1/CNY80.00
- 载体形态项:
- 384页:图;24cm
- 个人责任者:
- 何广平 (物理学) 编著
- 学科主题:
- 动态-微电子技术
- 中图法分类号:
- TN4
- 题名责任附注:
- 编著还有：赵明、赵全亮、刘峰斌
- 提要文摘附注:
- 本书以动态微机电系统(MEMS)主要对象，介绍其相关的功能材料、设计方法、制造工艺以及控制方法。内容包括：动态MEMS主要技术领域的简况；动态MEMS中常用的功能材料及其制备方法；动态MEMS器件的主要设计方法及其发展现状；动态MEMS的制造工艺、常见失效模式及其克服方法；动态MEMS的控制理论基础、控制技术及其发展现状、控制实验方法等方面的论述；典型动态MEMS系统剖析。
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 | 还书位置 |
| TN4/55 | A4156480 |  Q601密集书库（七里坪）
QL051907 |
可借 | Q601密集书库（七里坪） | |
| TN4/55 | A4156481 | 自然科学书库（七里坪新馆六楼）
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可借 | 自然科学书库（七里坪新馆六楼） | |
| TN4/55 | A4156482 | 自然科学书库（七里坪新馆六楼）
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可借 | 自然科学书库（七里坪新馆六楼） | |
| TN4/55 | A4156483 | 自然科学书库（七里坪新馆六楼）
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可借 | 自然科学书库（七里坪新馆六楼） |
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