MARC状态：已编 文献类型：中文图书 浏览次数：9
- 题名/责任者:
- 基于机械-化学方法的微纳制造技术/史立秋著
- 出版发行项:
- 北京:电子工业出版社,2014
- ISBN及定价:
- 978-7-121-23712-6/CNY39.80
- 载体形态项:
- 93页:图;24cm
- 个人责任者:
- 史立秋 (女， 1978~) 著
- 学科主题:
- 半导体材料-纳米材料-硅-生产工艺
- 学科主题:
- 半导体材料
- 学科主题:
- 纳米材料
- 学科主题:
- 硅
- 中图法分类号:
- TN304.1
- 一般附注:
- 国家自然科学基金资助出版 2014年度黑龙江省高校新世纪优秀人才支持计划 国家自然科学基金资助项目
- 提要文摘附注:
- 本书针对“如何方便、可控地在单晶硅表面设计和构筑具有特定功能和特性的跨尺度微/纳复合结构”，提出了“基于机械-化学方法的硅表面功能性微纳结构制造新方法”这一前沿性课题。全书共6章，叙述了应用机械-化学方法在硅表面制造功能性微纳结构的全过程及其表征与分析，并对后期的应用进行了系统的研究。
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 | 还书位置 |
| TN304.1/9 | A6137628 |  七里坪八楼开架阅览室
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阅览 | 七里坪八楼开架阅览室 | |
| TN304.1/9 | A6137629 | 自然科学书库（七里坪新馆六楼）
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可借 | 自然科学书库（七里坪新馆六楼） | |
| TN304.1/9 | A6137630 | 自然科学书库（七里坪新馆六楼）
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可借 | 自然科学书库（七里坪新馆六楼） | |
| TN304.1/9 | A6137631 | 自然科学书库（七里坪新馆六楼）
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可借 | 自然科学书库（七里坪新馆六楼） |
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