MARC状态：已编 文献类型：中文图书 浏览次数：4
- 题名/责任者:
- 微机电系统原理/(韩) Ki Bang Lee著 马晓军 ... 等译
- 出版发行项:
- 北京:国防工业出版社,2014
- ISBN及定价:
- 978-7-118-09432-9 精装/CNY180.00
- 载体形态项:
- x, 597页:图;25cm
- 丛编项:
- 国防科技著作精品译丛
- 个人责任者:
- 李基邦 著
- 个人次要责任者:
- 马晓军 译
- 学科主题:
- 微电机-理论
- 中图法分类号:
- TM38
- 版本附注:
- 据原著2011年英文版译出
- 出版发行附注:
- 由John Wiley & Sons International Rights, Inc.授权出版
- 责任者附注:
- 责任者Ki Bang Lee汉译名: 李基邦
- 书目附注:
- 有书目 (第593-595页)
- 提要文摘附注:
- 本书通过一种统一的方法和微观力学问题的解析解(封闭形式解)阐述了MEMS的原理。全书以概述MEMS开始，并介绍了量纲分析，提供了在宏观和微观世界中存在的基本无量纲参数。然后说明了微制造，给出了设计实际MEMS的一般制造工艺相关的知识。提供了元件和系统的理论模型，并获得了静态和动态响应的解析解。
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 | 还书位置 |
| TM38/9 | A0796906 |  Q601密集书库（七里坪）
QL022863 |
可借 | Q601密集书库（七里坪） | |
| TM38/9 | A0796907 | Q601密集书库（七里坪）
QL022856 |
可借 | Q601密集书库（七里坪） | |
| TM38/9 | A0784364 | 自然科学书库（七里坪新馆六楼）
|
可借 | 自然科学书库（七里坪新馆六楼） | |
| TM38/9 | A0784365 | 自然科学书库（七里坪新馆六楼）
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可借 | 自然科学书库（七里坪新馆六楼） | |
| TM38/9 | A0784366 | 自然科学书库（七里坪新馆六楼）
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可借 | 自然科学书库（七里坪新馆六楼） |
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