MARC状态：已编 文献类型：中文图书 浏览次数：15
- 题名/责任者:
- 微机电系统设计与加工/(美)Mohamed Gad-el-Hak编 张海霞，赵小林译
- 出版发行项:
- 北京:机械工业出版社,2010
- ISBN及定价:
- 978-7-111-28597-7 精装/CNY63.00
- 载体形态项:
- 536页:图;27cm
- 并列正题名:
- MEMS design and fabrication
- 丛编项:
- 国际机械工程先进技术译丛
- 个人责任者:
- (美) 贾德勒哈克 (Gad-el-Hak, Mohamed) 编
- 个人次要责任者:
- 张海霞 (女) 译
- 个人次要责任者:
- 赵小林 (1953~) 译
- 学科主题:
- 微电子技术
- 中图法分类号:
- TN4
- 提要文摘附注:
- 本书内容包括：MEMS中的材料、MEMS制造、LIGA及其微模压、基于X射线的加工、EFAB技术及其应用、用于碳化硅体微加工的等离子体反应深刻蚀、聚合物微系统：材料和加工、光诊断方法考察微流道的入口长度、应用于航空航天的微化学传感器等。
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 | 还书位置 |
| TN4/52 | K1065806 |  七里坪八楼开架阅览室
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阅览 | 七里坪八楼开架阅览室 | |
| TN4/52 | K1065807 | 自然科学书库（七里坪新馆六楼）
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可借 | 自然科学书库（七里坪新馆六楼） |
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