MARC状态：已编 文献类型：中文图书 浏览次数：3
- 题名/责任者:
- 集束型晶圆制造装备调度及其优化算法/李林瑛, 卢睿著
- 出版发行项:
- 北京:电子工业出版社,2017
- ISBN及定价:
- 978-7-121-31227-4/CNY69.00
- 载体形态项:
- 328页:图;26cm
- 个人责任者:
- 李林瑛 睿著
- 个人责任者:
- 卢睿 著
- 学科主题:
- 半导体工艺设备-调度
- 学科主题:
- 半导体工艺设备-最优化算法
- 中图法分类号:
- TN305
- 一般附注:
- 辽宁省高等学校优秀人才支持计划, 辽宁省教育厅科学研究一般项目, 大连外国语大学科研基金项目对本书支持
- 相关题名附注:
- 并列正题名取自于封面
- 书目附注:
- 有书目
- 提要文摘附注:
- 本书以集束型晶圆制造装备为研究对象，在全面分析其调度特点及调度方法的基础上，分析集束型装备各类调度问题，运用优化调度方法设计了相应的求解方案。本书提出的方法和技术将为广大企业、科研院所、高等院校进一步深入研究集束型晶圆制造装备调度问题提供理论基础，为推动集束型晶圆制造装备调度技术发展和企业实际应用提供参考，对提升我国晶圆制造企业的核心技术竞争力及行业综合实力具有重要意义。
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 | 还书位置 |
| TN305/9 | A0776690 |  Q601密集书库（七里坪）
QL051120 |
可借 | Q601密集书库（七里坪） | |
| TN305/9 | A0776691 | Q601密集书库（七里坪）
QL051119 |
可借 | Q601密集书库（七里坪） | |
| TN305/9 | A0776689 | 自然科学书库（七里坪新馆六楼）
|
可借 | 自然科学书库（七里坪新馆六楼） | |
| TN305/9 | A0791054 | 自然科学书库（七里坪新馆六楼）
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可借 | 自然科学书库（七里坪新馆六楼） | |
| TN305/9 | A0791055 | 自然科学书库（七里坪新馆六楼）
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可借 | 自然科学书库（七里坪新馆六楼） |
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