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MARC状态:已编 文献类型:中文图书 浏览次数:5

题名/责任者:
微系统光学检测技术/(德)Wolfgang Osten主编 王伯雄等译
出版发行项:
北京:机械工业出版社,2014
ISBN及定价:
978-7-111-45837-1/CNY95.00
载体形态项:
442页;24cm
丛编项:
国际制造业先进技术译丛
学科主题:
微电子技术-光学测量
中图法分类号:
TB96
相关题名附注:
英文封面题名:Optical inspection of microsystems
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TB96/6 A6143307   七里坪旧书库(B103) T0227037     可借 七里坪旧书库(B103)
TB96/6 A6143304   自然科学书库(七里坪新馆六楼)     可借 自然科学书库(七里坪新馆六楼)
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