MARC状态：已编 文献类型：中文图书 浏览次数：8
- 题名/责任者:
- 光刻/上海无线电十七厂编
- 出版发行项:
- 上海:上海人民出版社,1971
- 载体形态项:
- 72页:图表;19cm
- 团体责任者:
- 上海无线电十七厂 编
- 学科主题:
- 半导体工艺-电子束光刻
- 学科主题:
- 电子束光刻-半导体工艺
- 中图法分类号:
- TN305.7
- 一般附注:
- 半导体器件平面工艺
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 | 还书位置 |
| TN305.7/3 | MJ152276 |  B102密集书库（七里坪）
QB152276 |
可借 | B102密集书库（七里坪） |
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