MARC状态：已编 文献类型：中文图书 浏览次数：1
- 题名/责任者:
- 非硅MEMS技术及其应用/陈文元, 张卫平, 陈迪著
- 出版发行项:
- 上海:上海交通大学出版社,2015
- ISBN及定价:
- 978-7-313-12525-5 精装/CNY150.00
- 载体形态项:
- 279页:图;24cm
- 个人责任者:
- 陈文元 著
- 个人责任者:
- 张卫平 著
- 个人责任者:
- 陈迪 著
- 学科主题:
- 微电子技术-研究
- 中图法分类号:
- TN4
- 一般附注:
- 上海科技专著出版基金资助 上海交通大学学术出版基金资助项目
- 书目附注:
- 有书目 (第260-277页) 和索引
- 提要文摘附注:
- 非硅MEMS技术是在硅MEMS技术基础上发展起来的, 又与硅MEMS技术互为补充。本书详细地叙述了非硅MEMS技术的特点, 非硅材料, 三维非硅微加工新技术, 新型非硅微传感器和微执行器等非硅MEMS技术及其应用。
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 | 还书位置 |
| TN4/63 | A0777797 |  自然科学书库（七里坪新馆六楼）
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可借 | 自然科学书库（七里坪新馆六楼） | |
| TN4/63 | A0777798 | 自然科学书库（七里坪新馆六楼）
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可借 | 自然科学书库（七里坪新馆六楼） | |
| TN4/63 | A0777799 | 自然科学书库（七里坪新馆六楼）
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可借 | 自然科学书库（七里坪新馆六楼） |
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