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MARC状态:已编 文献类型:中文图书 浏览次数:2

题名/责任者:
MEMS/NEMS谐振器技术/张文明,胡开明著
出版发行项:
北京:科学出版社,2023
ISBN及定价:
978-7-03-075719-7 精装/CNY298.00
载体形态项:
475页:图;24cm
个人责任者:
张文明
个人责任者:
胡开明
学科主题:
微机电系统-谐振器
中图法分类号:
TN629.1
提要文摘附注:
本书共9章,内容包括:绪论、谐振原理与结构设计、谐振器件材料与加工工艺、非线性现象与动力学效应、能量耗散机理与阻尼技术、振动激励与检测原理及技术、通道式MEMS/NEMS谐振器动力学设计与检测技术、弱耦合谐振器设计及传感技术、失效分析与可靠性技术。
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TN629.1/3 A1108346   自然科学书库(七里坪新馆六楼)     可借 自然科学书库(七里坪新馆六楼)
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