MARC状态：已编 文献类型：中文图书 浏览次数：2
- 题名/责任者:
- 半导体制造过程的批间控制和性能监控/郑英，王妍，凌丹著
- 出版发行项:
- 北京:科学出版社,2023
- ISBN及定价:
- 978-7-03-070817-5/CNY128.00
- 载体形态项:
- 243页:图;24cm
- 个人责任者:
- 郑英 著
- 个人责任者:
- 王妍 著
- 个人责任者:
- 凌丹 著
- 学科主题:
- 半导体工艺
- 中图法分类号:
- TN305
- 提要文摘附注:
- 本书基于当前半导体及类似行业制造过程中存在的问题，介绍了多种改进的批间控制和容错控制算法，以及在其控制下的性能评估和监控。第1章介绍半导体制造过程，包括国内外研究现状和发展趋势。第2-4章介绍批间控制方法及各种衍生方法。第5-7章讨论机台故障对系统性能的影响，提出多种批间容错控制算法，采用T-S模糊模型来处理未知的随机度量时延，并建立批次过程的补偿批间算法。第8-11章介绍批间控制器对制造过程的影响，利用输入输出数据提出批间控制器的模型匹配因子，得到建模质量指标。
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 | 还书位置 |
| TN305/17 | A1109042 |  自然科学书库（七里坪新馆六楼）
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可借 | 自然科学书库（七里坪新馆六楼） | |
| TN305/17 | A1109043 | 自然科学书库（七里坪新馆六楼）
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可借 | 自然科学书库（七里坪新馆六楼） | |
| TN305/17 | A1109044 | 自然科学书库（七里坪新馆六楼）
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可借 | 自然科学书库（七里坪新馆六楼） |
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