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- 题名/责任者:
- 电子工业生产技术手册.8.半导体与集成电路卷/《电子工业生产技术手册》编委会编
- 出版发行项:
- 北京:国防工业出版社,1992
- ISBN及定价:
- 7-118-00496-0 精装/CNY55.10
- 载体形态项:
- 1022页;26cm
- 团体责任者:
- 本书编委会 编
- 学科主题:
- 电子工业-生产-技术手册
- 学科主题:
- 半导体器件-生产-技术手册
- 学科主题:
- 集成电路-生产-技术手册
- 中图法分类号:
- TN-62
- 提要文摘附注:
- 本书共16章。阐述了化合物半导体器件及集成电路的清洗与腐蚀、外延、离子注入通用工艺,同时介绍了包括微波及毫米波二端器件、场效应器件的设计与制造与可靠性,及新器件和集成技术。
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 | 还书位置 |
| TN-62/33 | F1001537 |  附一医院图书资料室
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可借 | 附一医院图书资料室 |
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