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MARC状态:已编 文献类型:中文图书 浏览次数:3

题名/责任者:
非硅MEMS技术及其应用/陈文元, 张卫平, 陈迪著
出版发行项:
上海:上海交通大学出版社,2015
ISBN及定价:
978-7-313-12525-5 精装/CNY150.00
载体形态项:
279页:图;24cm
个人责任者:
陈文元
个人责任者:
张卫平
个人责任者:
陈迪
学科主题:
微电子技术-研究
中图法分类号:
TN4
一般附注:
上海科技专著出版基金资助 上海交通大学学术出版基金资助项目
书目附注:
有书目 (第260-277页) 和索引
提要文摘附注:
非硅MEMS技术是在硅MEMS技术基础上发展起来的, 又与硅MEMS技术互为补充。本书详细地叙述了非硅MEMS技术的特点, 非硅材料, 三维非硅微加工新技术, 新型非硅微传感器和微执行器等非硅MEMS技术及其应用。
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TN4/63 A0777797   自然科学书库(七里坪新馆六楼)     可借 自然科学书库(七里坪新馆六楼)
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