MARC状态：已编 文献类型：中文图书 浏览次数：8
- 题名/责任者:
- 微纳米制造技术及应用/张德远 ... 等编著
- 出版发行项:
- 北京:科学出版社,2015
- ISBN及定价:
- 978-7-03-045751-6/CNY98.00
- 载体形态项:
- 252页:图;24cm
- 丛编项:
- 21世纪先进制造技术丛书
- 个人责任者:
- 张德远 编著
- 个人责任者:
- 蒋永刚 编著
- 个人责任者:
- 陈华伟 编著
- 学科主题:
- 纳米技术
- 中图法分类号:
- TB303
- 一般附注:
- “十二五”国家重点图书出版规划项目
- 题名责任附注:
- 编著者还有: 蒋永刚, 陈华伟, 秦威等
- 书目附注:
- 有书目
- 提要文摘附注:
- 微纳米制造技术广泛应用于大规模集成电路、微机械结构、微机电系统、传感器、驱动器、功能材料与涂层等，涉及电子、机械、光学、物理、化学、材料、生物等多种学科，是制造技术的融合交叉新领域。本书共分7章，内容涵盖了微机械加工、表面成膜、半导体加工、纳米制造和生物制造等，全面地讲述了微纳米加工的各种方法，每种工艺都按照由原理、工艺过程到应用特点的顺序论述，逻辑严谨、脉络清晰。
- 使用对象附注:
- 本书适合机械工程、仪器科学、微电子、微机电系统等专业的本科生及研究生，相关行业的科技工作者与工程技术人员参考阅读。
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 | 还书位置 |
| TB303/10 | A0799443 |  Q601密集书库（七里坪）
QL016639 |
可借 | Q601密集书库（七里坪） | |
| TB303/10 | A0799444 | Q601密集书库（七里坪）
QL016638 |
可借 | Q601密集书库（七里坪） | |
| TB303/10 | A0797752 | 自然科学书库（七里坪新馆六楼）
|
可借 | 自然科学书库（七里坪新馆六楼） | |
| TB303/10 | A0797753 | 自然科学书库（七里坪新馆六楼）
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可借 | 自然科学书库（七里坪新馆六楼） | |
| TB303/10 | A0799442 | 自然科学书库（七里坪新馆六楼）
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可借 | 自然科学书库（七里坪新馆六楼） |
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