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MARC状态:已编 文献类型:中文图书 浏览次数:4

题名/责任者:
晶圆键合手册/(德) Peter Ramm, (美) James Jian-Qiang Lu, (挪威) Maaike M. V. Taklo 安兵, 杨兵译
出版发行项:
北京:国防工业出版社,2017
ISBN及定价:
978-7-118-10317-5/CNY89.00
载体形态项:
XVII, 276页:图;26cm
统一题名:
Handbook of wafer bonding
个人责任者:
拉姆 (Ramm, Peter)
个人责任者:
卢建强
个人责任者:
塔克鲁 (Taklo, Maaike M. V.)
个人次要责任者:
安兵
个人次要责任者:
杨兵
学科主题:
键合工艺-手册
中图法分类号:
TN405-62
一般附注:
装备科技译著出版基金
版本附注:
本书据2012年英文版译出
责任者附注:
责任者Ramm规范汉译姓: 拉姆; 责任者Jian-Qiang Lu汉译姓取自在版编目: 卢建强; 责任者Taklo汉译姓取自在版编目: 塔克鲁
书目附注:
有书目
提要文摘附注:
本书系统介绍了晶圆级封装的材料选择、工艺集成和应用,包括三维(3D)集成、暂态键合、混合材料键合等诸多新涌现的连接技术。第一部分描绘了四类晶圆键合技术:胶粘剂和阳极键合;直接晶圆接合;金属键合;和金属绝缘材料混合键合。第二部分总结了最近开发的一些晶圆键合技术,包括3D集成、微机电系统等,让读者领略晶圆键合技术的重大应用。
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TN405-62/1 A0762170   Q601密集书库(七里坪) QL050786     可借 Q601密集书库(七里坪)
TN405-62/1 A0762171   Q601密集书库(七里坪) QL050785     可借 Q601密集书库(七里坪)
TN405-62/1 A0789163   Q601密集书库(七里坪) QL050784     可借 Q601密集书库(七里坪)
TN405-62/1 A0762169   自然科学书库(七里坪新馆六楼)     可借 自然科学书库(七里坪新馆六楼)
TN405-62/1 A0789164   自然科学书库(七里坪新馆六楼)     可借 自然科学书库(七里坪新馆六楼)
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