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MARC状态:已编 文献类型:中文图书 浏览次数:12

题名/责任者:
微机电系统设计 (MEMS) 和原型设计指南/(美) Joel A. Kubby著 李会丹, 袁晓伟, 王景中译
出版发行项:
北京:国防工业出版社,2014
ISBN及定价:
978-7-118-09690-3/CNY69.00
载体形态项:
134页:图;24cm
统一题名:
Guide to hands-on MEMS design and prototyping
丛编项:
高新科技译丛.微机电系列
个人责任者:
库比 (Kubby, Joel A.)
个人次要责任者:
李会丹
个人次要责任者:
袁晓伟
个人次要责任者:
王景中
学科主题:
微电机-系统设计-指南
中图法分类号:
TM380.2
一般附注:
装备科技译著出版基金
版本附注:
据原书2011年英文版译出
责任者附注:
责任者Kubby规范汉译姓: 库比
书目附注:
有书目
提要文摘附注:
本书描述和分析了大量的设计案例,涉及领域包括微观力学、电磁学、光学MEM、热学MEMS和流体MEMS等。其中有一章专门介绍MEMS器件的封装和测试;此外,在本书每章的最后,都描述了MEMS设计的实践和挑战,并提供了相关的解决方案。
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